近十多年來,科學(xué)技術(shù)日新月異,對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,同時(shí)對無塵凈化技術(shù)的發(fā)展提出了更高的要求。萬級無塵車間在半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)非常多見。那么,何為萬級無塵車間,它的標(biāo)準(zhǔn)是什么?無塵車間空氣潔凈度等級的檢驗(yàn),應(yīng)以動(dòng)態(tài)條件下測試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈廠房空氣潔凈度的測試,應(yīng)符合如下表規(guī)定:
萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級的凈化車間,主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)。十萬級、萬級和百級潔凈車間的凈化級別標(biāo)準(zhǔn):
萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)包括哪些內(nèi)容?1.塵粒最大允許數(shù)(每立方米);2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個(gè);3.微生物最大允許數(shù);4.浮游菌數(shù)不得超過100個(gè)每立方米;5.沉隆菌數(shù)不得超過3個(gè)每培養(yǎng)皿。壓差:相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa,凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa。
萬級凈化車間參數(shù)要求:換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次.壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa 平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
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